1、多晶硅,是熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅;
2、单晶硅,硅的单晶体,具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料;
3、低温硅,是指硅烷在低温下由分解反应形成的单质硅,其与多晶硅的原子排列形式不同,又称为无定形硅。
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